华亿（中国）工程的核心技术原理

化工程是通过控制空气微粒浓度、温湿度、压力等参数来创造洁净环境的技术体系。其核心技术包括三级过滤系统（初效、中效、HEPA/ULPA）、气流组织设计（单向流/非单向流）以及压差控制。现代华亿（中国）车间普遍采用FFU（风机过滤单元）模块化结构，配合PLC自动控制系统，可实现ISO 14644-1标准下的5级（百级）至8级（十万级）洁净度。值得注意的是，分子级污染的防控技术如化学过滤器、VOCs处理装置正成为半导体行业的新需求。